170平方米投资千万元 国内首间最洁净工程在宁建成

      国内首个国际最高等级“ISO 1级”超净环境集成系统，近日在南京经济技术开发区内的落成，这个干净得近乎一粒灰尘也没有的厂房，将用于生产超大规模集成电路和高世代平板显示等高端产品。

超净间环境又称洁净室、无尘室、无尘车间是指无论室外空气条件如何变化，仍能使室内空气中微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除，且室内温度、湿度、洁净度等特性控制在特定范围内。而“ISO 1级”则是该标准的国际最高标准，该标准要求，每立方米内的微尘颗粒小于10颗。

“浮游在空气中的微尘颗粒就像太平洋中的鱼。‘ISO 1级’的洁净度，就如同在太平洋那么大的空间里，所有‘鱼’全都被过滤掉了。”洁净室技术总监吴小泉打比方说，因为实现难度非常大，截至目前，国内除了天加公司，还没有其他企业做到。在国外，也只有美国的一家科技企业拥有一间。

去年年底，天加超净环境集成系统通过专家组评定，来自中国科学院、中国工程院等近30名专家一致评定该系统为国内首创，并达到国际先进水平。专家组主任委员王尧表示，超净间环境核心区洁净度达到国际标准最高级别，填补了国家相关领域的技术空白。

由于要进行专业消毒，记者没能进入洁净室现场体验。不过，技术人员把记者带进了控制室，透过玻璃，记者清楚地看到了整个洁净车间的内部。该洁净厂房170平方米，外观和一般的实验室差不多。“根据实时监测的数据，目前厂房内的空气中一粒微尘也没有，可以说纤尘不染。”吴小泉现场介绍说，厂房内的空气，首先要通过厂房地面上布满的细小“孔洞”进行循环过滤，然后还要经过加热、冷淋等16个步骤处理，才能最终达到洁净室 无尘室标准。

据了解，打造这样的一间洁净厂房，天加公司投入了1000多万元，成本比现在常用的“ISO 3”、“ISO 2”级厂房都要高出好几倍。

“之所以花大本钱打造这样的厂房，主要是想服务于相关高端产品的生产。”天加公司企业品牌部负责人刘东明说，根据半导体产业的摩尔定律，硅晶圆片尺寸、平板显示器的尺寸都在不断扩大，精密性、稳定性要求也越来越高；一般来说，厂房越洁净，生产出来的电子产品能达到的精密度也就越高。因为没有“ISO 1”级的洁净厂房，以前，我国超净间环境的核心部件均由国外设计和制造，严重制约了超大规模集成电路、高世代平板显示等产业的发展。有了这个洁净厂房，生产电子核心部件的这项瓶颈被打破了。