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国家药品监督管理局1999年8月1日发布实施
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■基于≥0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表
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个/M3≥ 0.5um
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ISO14644-1(1999)
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US 209E (1992)
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US 209D (1988)
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EEC GGMP (1989)
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FRANCE AFNOR(1981)
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GERMANY VDI 2083(1990)
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JAPAN JAOA(1989)
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1
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-
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-
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-
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-
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-
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-
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3.5
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2
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-
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-
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-
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-
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0
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2
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10
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-
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M1
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-
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-
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-
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-
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-
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35.3
|
3
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M1.5
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1
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-
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-
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1
|
3
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100
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-
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M2
|
-
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-
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-
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-
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-
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353
|
4
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M2.5
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10
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-
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-
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2
|
4
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1,000
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-
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M3
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-
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-
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-
|
-
|
-
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3,530
|
5
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M3.5
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100
|
A+B
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4,000
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3
|
5
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10,000
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-
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M4
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-
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-
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-
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-
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-
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35,300
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6
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M4.5
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1,000
|
1,000
|
-
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4
|
6
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100,000
|
-
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M5
|
-
|
-
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-
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-
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-
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353,000
|
7
|
M5.5
|
10,000
|
C
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400,000
|
5
|
7
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1,000,000
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-
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M6
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-
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-
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-
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-
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-
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3,530,000
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8
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M6.5
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100,000
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D
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4,000,000
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6
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8
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10,000,000
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M7
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1、国际标准《ISO/DIS 14644》
2、洁净室厂房设计规范《GB50073-2013》
3、通风与空调工程施工及验收规范《GB 50243-2002》
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