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净化工程 洁净室(区)及相关受控环境中空气洁净度的等级,并且仅考虑粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内呈累积分布的粒子群。根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级

ISO分级

大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度(颗/m3)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO1级

10

2

       

ISO2级

100

24

10

4

   

ISO3级

1000

237

102

35

8

 

ISO4级

10000

2370

1020

352

83

 

ISO5级

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO6级

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO7级

     

352000

83200

2930

ISO8级

     

3520000

832000

29300

ISO9级

     

35200000

8320000

293000

 

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2、净化工程洁净室厂房设计规范《GB50073-2013》


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