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净化工程 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
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空气洁净度等级(N)
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大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)
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0.1um
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0.2um
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0.3um
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0.5um
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1um
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5um
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1
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10
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2
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|
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2
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100
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24
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10
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4
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|
|
|
3
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1000
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237
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102
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35
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8
|
|
|
4
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10000
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2370
|
1020
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352
|
83
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|
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5
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100000
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23700
|
10200
|
3520
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832
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29
|
|
6
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1000000
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237000
|
102000
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35200
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8320
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293
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7
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352000
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83200
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2930
|
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8
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3520000
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832000
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29300
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9
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35200000
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8320000
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293000
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2、净化工程洁净室厂房设计规范《GB50073-2013》
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