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净化工程洁净室厂房设计规范《GB50073-2013》
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特点：
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担;
C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或
洁净车间空气净化
一、无尘车间内有多种工序时，应根据各工序的不同要求，采用不同的空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求的前提下，洁净厂房的气流组级别，宜采用局部工作区空气净化和全室空气净化相结合的形式。
三、层流无尘车间和乱流洁净厂房以及运行无尘车间用时间不同的洁净厂房，其净化空气调节系统均宜分开设置。
四、无尘车间内应保证一定的新鲜空气量，其数值频取下列风量中的最大值；乱流洁净厂房总送风量的10%～30%，层流洁净厂房总送风量的2～4%；补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。
五、洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。无尘车间内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。
六、在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。
洁净车间人员净化和物料净化设施
一、无尘车间内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。
二、人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣 室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，可根据需要设置。
三、洁净厂房的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形 状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。
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