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净化工程洁净室厂房设计规范《GB50073-2013》

 

 

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对于气流流速的测量也有很高的要求。按照ISO 14644-3标准的要求,应使用适合于在低压气流检测的热丝风速仪、超声风速仪和叶轮风速仪。经常进行的是对空气流速在0.45m/s范围内的风速仪的计量标定。计量标定的结果必须证明:风速仪的误差在±20%之内。这一要求很难达到,因为按照ISO 14644-3标准的要求,空气风速仪在这种情况下的技术规范要求为0.12m/s。在这种情况下只能进行对比计量标定,以求得更高的安全系数。为了测量监控各个洁净室之间的压力差异必须在较低的差压范围内进行测量(5~25Pa)。从20Pa开始,则必须使用更加精确的压力天平进行计量标定。在低压范围内,许多情况下只能采用差补法对一致性进行估计。只有极少数的实验室可以进行低压压力差的计量标定工作。通常情况下,达标性通过不同等级的国家认证机构出具的认证标准证书来表示。例如,获得了DKD的认证证书,就表示在DKD标准的范围内达到了规定的要求,因为DKD认证证书是得到了国际标准认证审批部门认可的。计量标定的目的是检验被检测物体与专项标准的一致性。只有当检测误差、检测的不可靠性系数的综合小于规定值时,才能获得一致性认证的合格证。在计量检验时,按照被检测物的专项技术规范的要求,测量的不可靠性和检测误差的比值应为1∶3。也就是说,在评判计量标定的结果时应考虑检测不可靠性的因素。

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