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苏州安净净化工程级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。*

级别名称**

级别上限值

粒径

0.1um

粒径

0.2um

粒径

0.3um

粒径

0.5um

粒径

5um

SI***

English

Unit

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

(m3)

(ft3)

M1.5

M2.5

M3.5

M4.5

M5.5

M6.5

100

1000

10000

100000

350

1240

3500

12000

35000

9.91

35.0

99.1

350

991

75.7

265

757

2650

7570

26500

75700

2.14

7.50

21.4

75.0

214

750

2140

30.9

106

309

1060

3090

10600

30900

0.875

3.00

8.75

30.0

87.5

300

875

10.0

35.3

100

353

1000

3530

10000 35300

100000

353000

1000000

3530000

10000000

0.283

1.00

2.83

10.0

28.3

100

283

1000

2380

10000

28300

100000

283000

247

618

2470

6180

24700

61800

7.00

17.5

70.0

175

700

1750

*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化车间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言，表11可以作为参考。
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