洁净室（区）内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷，穿过洁净室（区）的墙壁或楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采取密封措施。
10.1.6  可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类气体的房间；当必须穿过时应设套管或双层管。
10.1.7
    2  不得出现不易吹除的“盲管”等死空间；
    3  管道系统应设置吹扫口和取样口。
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    1  可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱，阀门箱应设置气体泄露报警和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁；
    3  引至室外的放散管，应设置防雷保护设施；
    4  应设置导除静电的接地设施。
10.2.5  气体纯化间（站）或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间（站）或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：
    1  应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；
    2  氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀；
    3  应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置；
    4  应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁；
    5  应设置导除静电的接地设施。
10.2.6  洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列安全技术措施：
    1  管道及阀门、附件应经严格的脱脂处理；
    2  应设置导除静电的接地设施；
    3  氧气引入管道上应设置自动切断阀。
10.4.2  洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室（区）分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。
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    1  特种气体钢瓶（含硅烷或硅烷混合物）应设置在具有连续机械排风的特气柜中；
    2  排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；
    3  一个特气分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱；
10.4.5  硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定：
    1  储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上；
    2  气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m；
    3  储存区顶棚的高度应大于3.5m。
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    1  化学品储存间（区）的储量不应超过该化学品24h的消耗量；
    2  化学品应按物化特性分类储存；当物化性质不容许同库储存时，应采用实体墙分隔；
    3  危险化学品应储存在单独的储存间或储存分配间内，与相邻房间应采用耐火极限大于1.5h的隔墙分隔；
    5  各类化学品储存、分配间应设置机械排风。机械排风应采用应急电源；
    6  易爆化学品储存、分配间，应采用不发生火花的防静电地面；
    7  输送易燃、易爆化学品的管道，应设置导除静电的接地设施；   
    8  接至用户的输送易燃、易爆化学品的总管上，应设置自动和手动切断阀。
内采用容器传送危险化学品时，应符合下列规定：
    1  严禁在出入口、疏散走廊储存和分配危险化学品。洁净厂房内运送易燃化学品的走廊应设置自动灭火系统；
    2  运送危险化学品的推车运载量不得超过250L；单个容器的容量不应超过20L；
    3  物理化学特性不相容的危险化学品不得采用同一推车运送。
11.2.3  当采用压力罐输送危险化学品时，应符合下列规定：
    1  输送系统设备、管道应采用与所输送的化学品相容的材质；
    2  压力罐应设置减压通风口，减压通风口的排气管应接至安全区域；
    3  输送系统应只容许采用氮气增压；
    4  在分配和使用处应设置手动切断阀；
    5  应设置液位监控和自动关闭装置，并应设置溢流应对设施。
11.2.5  液态危险化学品的储存、分配间，应设置溢出保护设施，并应符合下列规定：
    1  储存罐或罐组应设置保护堤，保护堤堤内容积应大于最大储罐的容积或20min消防用水量；保护堤的高度不应低于500mm；
    2  化学品相互接触引起化学反应的可燃液体储罐或罐组之间，应设置隔堤，隔堤不得渗漏；管道穿过隔堤时应采用不燃材料密封。隔堤高度不应低于400mm；
    3  应设置液体泄露报警装置；
    4  应设置紧急淋浴和洗眼器。
11.3.1  化学品供应系统管道材质的选用，应按所输送化学品的物理化学性质确定，并应选择化学稳定性能良好和相容性好的材料。
12.1.8  洁净厂房内，可燃气体或液体的储存、分配间的电气设计，应根据可燃气体或液体的特性确定，并应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。