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净化工程的构成是由以下各项系统组成:
(1)天花板系统:包括吊杆、纲梁、天花板格子梁,材料一般是:净化工程无尘室彩钢板与无尘板
(2)空调系统:包括主机、风管、过滤器系统、FFU等。
(3)隔墙板:包括窗户、门,材料是彩钢板,但彩钢板的夹芯有很多种。
(4)地板:高架地板或防静电PVC地板或环氧树脂地板。
(5)照明器具:采用无尘专用灯具。净化工程无尘室压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B,表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10的x立方个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。净化工程无尘室
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