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净化工程无尘室 无尘室无尘室内使用，必要时可在更衣室等无尘室较低等级的区域使用白板。无尘室内不得放置清洁用具，垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。表5 不同纸张发尘量比较（略）（实验 方法 ：将两者纸张相迭，而相互磨擦时所产生之纸尘量小于0.5μM以上）真空吸尘器，其功能是在吸取净化工程无尘室内地板上、下及设备上附着之尘粒或液体以防止这些尘粒之再飞扬，以达到清洁的目的，由于真空吸尘器在作业时会有排气产生，若未经处理，将严重影响无尘室之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。唯现今之高级无尘室均设有中央式吸尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般之清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时，须注意排气旦之控制避免使无尘室内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属无尘室内专用，故不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的无尘室中，旦每次使用后应清扫吸管、收尘箱等吸气系统。三、净化工程无尘室各系统维护保养管理无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。无尘室内之生产制造设备注意之重点有三：1.生产设备之选择、布置与保养：a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。g.生产及相关设备应定期净化工程无尘室清扫，以避免微尘之堆积。h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。2.生产设备之防尘措施：a.磨损、切削均为发生微尘之原因，净化工程无尘室故需将发尘部分掩盖之。b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。3.自动化与无尘化：a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等，这些规则已在净化工程无尘室

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