净化工程空调机组在无尘室 无尘车间操作时的规定

1.无尘室 无尘车间处理芯片时，必须戴上无纤维手套，使用清洗过的干净镊子挟持芯片，请勿以手指或其它任何东西接触芯片，遭碰触污染过的芯片须经清洗，方得继续使用：

（1）任何一支镊子前端（即挟持芯片端）如被碰触过，或是镊子掉落地上，必须拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。

（3）把芯片放置于石英舟上，准备进炉管时，若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起的污染。

2.芯片必须放置盒中，无尘室 无尘车间盖起来存放于规定位置，尽可能不让它暴露。

3.避免在芯片上谈话，以防止唾液溅于芯片上，无尘室 无尘车间在芯片进扩散炉前，请特别注意，防止上述动作产生，若芯片上沾有纤维屑时。

8.摆置芯片于石英舟时，无尘室 无尘车间若芯片掉落地上或手中则必须重新清洗芯片，然后再进氧化炉。

9.请勿触摸芯片盒内部，如被碰触或有碎芯片污染，必须重作清洗。

13.无尘室 无尘车间仪器因操作错误而有任何损坏时，务必立刻告知负责人员或老师。

14.无尘室 无尘车间芯片盒进出无尘室须保持干净，并以保鲜膜封装，违者不得进入。

15.无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录，一般纸张与铅笔不得携入。

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