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ISO洁净室标准，它是全球各国标准化团体联合会的ISO/TC209洁净室及相关受控环境技术委员会（Technical Commitlee ISO/TC209,Cleanrooms and associaed Controlled environments）编制的洁净室标准系列，该系列包括下列标准。表3是ISO14644-1中的空气洁净度等级表。

净化车间洁净度等级

ISO分级序数（N）	大于或等于表中粒径的最大浓度限值（PC/m3-空气浓度限值公式（1-1）计算）
ISO分级序数（N）	0.1um	0.2um	0.3um	0.5um	1um	5um
ISO Class1	10	2
ISO Class2	100	24	10	4
ISO Class3	1000	237	102	35	8
ISO Class4	10000	2370	1020	352	83
ISO Class5	100000	23700	10200	3520	832	29
ISO Class6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO Class7				352000	83200	2930
ISO Class8				3520000	832000	29300
ISO Class9				35200000	8320000	293000

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ISO14644系列洁净室及相关受控环境

ISO14644-1 空气洁净度等级

ISO14644-2 认证ISO14644-1相符性的测试和监测技术

ISO14644-3 测量及测试方法

ISO14644-4 设计与施工

ISO14644-5 洁净室运行

ISO14644-6 术语、定义及单位

ISO14644-7 悬浮分子污染分类

ISO14698系列洁净室及相关受控环境—生物污染控制

ISO14698-1 总则及方法

ISO14698-2 生物污染数据评价及判断

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