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  净化工程标准体系的制定,首先应与国际标准ISO14644、ISO14698等系列标准接轨,融入国际标准体系;但是我国的净化工程标准的制定还必须结合我国的国情、我们的国民经济发展状况和我们的净化工程、设备的实际发展水平相适应,还应充分考虑我们的人文、地理、气象以至习惯等状况制定相应的技术要求、技术措施;要根据我国现行标准化工作的特点,制定的标准体系应划分为强制性标准和推荐性标准;一般情况下,我国制定的净化工程标准体系中的技术要求应该不低于国家标准,特别是有关安全技术方面的规定,这样有利于洁净室工程、设备的严格管理和确保建成后的洁净室工程的可靠安全运行。 ISO14644-1中的空气洁净度等级表。

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ISO14644系列 净化工程及相关受控环境
ISO14644-1 空气净化工程洁净度等级
ISO14644-2 认证ISO14644-1相符性的测试和监测技术
ISO14644-3 测量及测试方法
ISO14644-4 设计与施工
ISO14644-5 净化工程运行
ISO14644-6 术语、定义及单位
ISO14644-7 悬浮分子污染分类
ISO14698系列净化工程及相关受控环境—生物污染控制

 

净化工程及洁净区的悬浮粒子洁净度等级

 
ISO分级序数(N)
净化工程大于或等于表中粒径的最大浓度限值
(PC/m3-空气浓度限值公式(1-1)计算)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1000
237
102
35
8
ISO Class4
10000
2370
1020
352
83
ISO Class5
100000
23700
10200
3520
832
29
ISO Class6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
ISO Class7
352000
83200
2930
ISO Class8
3520000
832000
29300
ISO Class9
35200000
8320000
293000

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