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净化车间 洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以1.5、2.5、3.5….表示。 十万级 三十万级千级 百级无尘室车间设计标准 苏州吴江安净净化工程安装

净化车间美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得 洁净室之分类 1.乱流式(Turbulent Flow): 空气净化车间由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

净化车间之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。

乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

净化车间层流式(Laminar) 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用

一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种净化车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

  净化车间运转后短时间内即可变成稳定,缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。

垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所 产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。      

净化车间管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

净化车间构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

 

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