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净化车间 确认过滤器系统安装良好或在使用过程中没有发生泄漏。
仪 无尘室车间安装设计施工改造 苏州吴江安净净化工程安装器：尘粒计数器 （配检漏探测头）
检漏扫描方法: 参考标准（文件）: ISO 14644-3 (2005), B.6.3;
无尘室测试前确认过滤器已经通过风速检测。 测试过滤器上游0.3um及更大粒径的尘粒浓度。
检测取样头来回扫描移动速度大约为 1.5cm/s。检测取样头到过滤器出风面或过滤器框架的距离大约为3厘米。
扫描应覆盖每块过滤器下风向整个表面，每个过滤器的周边、过滤器框与安装架构造之间的封条,包括其结合部。
无尘室系统在无尘室内维持规定的空气压差的能力。
仪器：静压表 （或万用风速仪压差档）
检测方法: 参考标准（文件）: ISO 14644-3 (2005), B.5
在进行压差测试前，确定无尘室送风量和设施平衡已经在规定范围内。
无尘室在整个测试期间所有进入无尘室及参考区域的门都关闭良好。
如果 无尘室内被分割成不止一个封闭洁净区,则需测量最里面房间与最紧临房间之间的压差。
这种测量一直持续至测量出最后个封闭区与周围附属环境之间与室外环境之间的压差。测量并记录 无尘室和临近房间的压差。
不同级别的 无尘室之间，高级别的压差通常至少要比低级别大5Pa以上方可;
从无尘室直接向外的压差必须是 无尘室内大于外部环境10Pa以上方可。
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