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净化工程 无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。
    净化工程 无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义
无尘车间(Clean Room)，亦称为洁净室或无尘室。
 净化工程 无尘室无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
净化工程 无尘室最主要之作用在于控制产品所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间。

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净化工程 无尘室无尘车间标准-等级
空气洁净度等级 (N)        大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3)
        0.1μm        0.2μm        0.3μm        0.5μm        1μm        5μm
1        10        2                                    
2        100        24        10        4                  
3        1000        237        102        35        8         
4        10000        2370        1020        352        83         
5        100000        23700        10200        3520        832        29
6        1000000        237000        102000        35200        8320        293
7                                   352000        83200        2930
8                                   3520000        832000        29300
9                                   35200000        8320000        293000

净化工程 无尘室无尘车间垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
  优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。
  净化工程 无尘室缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

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