无尘室 净化工程分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。

无尘室 净化工程空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的

无尘室 净化工程HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

两个无尘室 净化工程间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。

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无尘室 净化工程209E，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，无尘室的等级是用在一定尘粒的尺寸的级数来表示的。制造集成电路所需要的无策划你是的洁净度就必须高于1000级，联邦规格的等级中Fed.std清洁度的表示法为：1ft3空气中，含有多少个0.5μm(micro)以上的微粒子，及称为[等级，等级10是指空气中俺有10个0.5以下的时候。自然界大气中一般含有的微粒是在300000到30000000个。
在jis的标准下，无尘室的洁净度有8个等级，也就是说：在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3，一次类推。而一般洁净度就是指空气的洁净等级。
无尘室 净化工程是一个人造的环境，也是指无尘室里面所带的尘埃是远远低于一个一般的环境的。无尘室的建立在，最尖端的产业发展，加速了产业结构的变革二十一世纪的的今天的必要性也是在提高的。由于现在商品质量的高要求，还有就是尘埃和温度湿度对产品的威胁的情况下，无尘室的要求也日益增加，因此，无尘室内的材料也是相当重要的。随着集成电路技术的增加，在净化工程当中，无尘室的洁净度的要求也是越来越高的，就算在工业上，小于0.1微米的策划乃也会影响产品的生产和运行。