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超净间亦称为无尘室或清净室。 超净间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为超净间等级。
超净间乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,两侧隔墙板回风,此型式适用于超净间等级需定较高之环境使用,一般其超净间等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
超净间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
超净间建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
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超净间1000级洁净室;等级的划分:;一般在超净间内有登记的,采用多种工序操作时,应根;医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参;1000级洁净室;等级的划分:;一般在超净间内有登记的,采用多种工序操作时,应根;医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,超净间风淋的出厂时间一般为十秒一次 吹的时间长效果肯定就好点 这个要根据车间人员的多少来配合人员通过的时间室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。超净间亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
超净间最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为超净间
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2017 8 14
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