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万级超净间空气由空调箱经风管与超净间内之空气过滤器(HEPA)进入超净间，并由超净间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。适用于超净间等级1,000-100,000级。
万级超净间优点：构造简单、系统建造成本，超净间之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高超净间等级
超净间的洁净度往往受到气流的影响、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。
超净间系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而超净间内除了人以外，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
万级超净间内的气流是左右超净间性能的重要因素，一般超净间的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以最适当的风速供应， 万级超净间以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
万级超净间洁净室（区）空气洁净级别表
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洁净度级别
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尘粒最大允许数/立方米
≥0.5μm尘粒数
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≥5μm尘粒数
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微生物最大允许数
浮游菌/立方米
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沉降菌/皿
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100级
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3,500
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0
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5
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1
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10,000级
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350，000
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2，000
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100
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3
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100，000级
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3，500，000
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20，000
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500
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10
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300，000级
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10，500，000
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60，000
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1000
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15
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2018 2 8
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