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     无尘室标准

洁净厂房设计标准：（GB50073-2013）
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
100 000
23 700
10 200
3 520
832
29
1 000 000
237 000
102 000
35 200
8 320
293

 

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