3．洁净室室内设计参数
    (1)洁净室洁净度：100级。
    (2)洁净室温度：25℃；湿度50％。
    (3)气流组织：上送下回。
    (4)换气次数：50次/时。
    (5)室内正压值：5mmH2O。
    (6)空调负荷计算：
经计算洁净车间的空调负荷如表l所示。

    4．系统概述
    风系统：新风经洗净，初过滤，中过滤与回风混合后进人空凋器，空凋器按洁净车间的热、湿负荷需求处理约20％的循环风量，空调器出风与经循环风机箱的回风再次混合至出风温度，回风经洁净室专用回风地板，通过1.5米深的回风层，回至空调器/循环风机箱。
    水系统：由新设的二次泵将二次冷水在空调器、冷水槽之间循环。
    加湿系统：采用蒸汽作为加湿源。
 
    5．洁净系统自动控制
    冷热水系统设置三通阀根据回水温度感知洁净车间的负荷变化，为系统提供适合的冷热量。
    过滤系统(包括高效、中效、初效过滤器)设置压差控制装置以便适时更换阻力过大的过滤装置。
    蒸汽加湿器设置控制系统，根据洁净车间的湿度变化控制进入加湿器蒸汽量。
    系统连锁控制：基本控制是当风机停止时，所有的水阀、风阀随即关闭。

    6、试运行和洁净度测试
    洁净车间安装工程完成后进行了认真的清扫，经过二天的试运行，开始了洁净度测试，将洁净车间均匀布置了20余个测试点，测试结果证实符合设计要求。