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净化工程 净化车间 无尘车间 经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》（GBJ73-84），1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）以指导施工和验收的重要文件。目前，该规范在重新修订中。
洁净度等级
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等级
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每立方米（升）空气中》0.5μm尘粒数
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每立方米（升）空气中》5μm尘粒数
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100
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《35*100（〈3.5〉
|
|
|
1000
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《35*1000（〈35〉
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《250（〈0.25〉
|
|
10000
|
《35*10000（〈350〉
|
《2500（〈2.5〉
|
|
100000
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《35*100000（〈3500〉
|
《25000（〈25〉
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美国联邦标准FS209E中的洁净等级
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等级名称
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等级限值
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0.1μm
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0.2μm
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0.3μm
|
0.5μm
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5μm
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容积单位
|
容积单位
|
容积单位
|
容积单位
|
容积单位
|
|
国际单位
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英制
单位
|
m
|
Ft
|
m
|
Ft
|
m
|
Ft
|
m
|
Ft
|
m
|
Ft
|
|
M1.0
|
|
350
|
9.91
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10
|
0.283
|
/
|
/
|
|
M1.5
|
1
|
1240
|
35.0
|
265.0
|
7.5
|
106
|
3
|
35.3
|
1
|
/
|
/
|
|
M2.0
|
|
3500
|
99.1
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
/
|
/
|
|
M2.5
|
10
|
12400
|
350.0
|
2650
|
75
|
1060
|
30
|
353
|
10
|
/
|
/
|
|
M3.0
|
|
35000
|
991.0
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
/
|
/
|
|
M3.5
|
100
|
/
|
/
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
/
|
/
|
|
M4.0
|
|
/
|
/
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
/
|
/
|
|
M4.5
|
1000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
35300
|
1000
|
247
|
7
|
|
M5.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
|
M5.5
|
10000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
353000
|
10000
|
2470
|
70
|
|
M6.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
1000000
|
28300
|
6180
|
175
|
|
M6.5
|
100000
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
3530000
|
100000
|
24700
|
700
|
|
M7.0
|
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
/
|
10000000
|
283000
|
61800
|
1750
|
|
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