无尘室、无尘车间无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。

    无尘室、无尘车间内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则：

    一、不携入

    在无尘室内不携入微粒子的方法有：

    1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

    2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。

    3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

    4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

    5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。  

    二、不发生

    在控制最大污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到最小限度应采取以下对策：

    1）减少接触剥离发尘的动作形态；

    2）采用磨耗发尘小的材质；

    3）采用发尘小的润滑油；

    4）机台应用空压浮上的非接触化工作原理。

    三、不储备

    若能彻底实施“不携入”技术，无尘室、无尘车间内的洁净度就可以维持。但现实中人和物品的频繁 出入及制造机台的掣动，在广大的无尘室内要有完全洁净度是不可能的。因此“不储备”技术快速地在过滤器中应用以除去已发生的微粒子变得非常重要。通常已发 生的微粒子会依据重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险 性。

    在最高等级的无尘室中从天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室 内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍 物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除而长时间漂流在无尘室内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而 引起污染。

    控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。