超净工作台 净化工作台 无尘室 无尘车间运转与维护管理员进出无尘室须予于规范管理外，愿物料及设备之进出也必须经过洁净程序，方不至于影响无尘室之洁净度。其进无尘室之流程如表4所示。至于搬出则反方向而行，但不须经洁净程序。

原物料及设备进出用无尘室为无尘室等级1000或10000级之房间，工作人员于其室内清洁设备或物料时必须穿着洁净衣服，所使用之擦拭纸为无 尘纸或不会脱落织毛之无尘布，清洁剂除了使用超纯水之外，并加入3~5％浓度的IPA或丙酮化学品，以增强去污能力，由于IPA及丙酮具挥发性，故此房间 之排气效果须特别考虑。搬运设备时为免破坏地板支架及地板表面，必须事先于地板上铺设已清洁过的不锈钢板，作为辅助。

3.无尘室内用品管理

无尘室内用品除了进出无尘室用的洁净衣、鞋、头罩、帽、手套、口罩外，尚有如纸张文具、桌子、椅子、芯片盒、搬运车、笔记本、告示板及垃圾箱、吸尘器等。

洁净衣之材料以洗后或使用其它处理后仍不会发尘者为基本条件，且其布料为不易燃烧、不起毛，其织法或布料之组织不易通过污染物和不附着污染物之 材质，另外经过磨擦不产生静电或带电性非常小，洗涤再生容易、不易皱、着衣感舒适等亦为选用考虑因素。头罩材质为无尘纸或无纺布制成，帽子材质则与洁净衣 相同，二者在穿戴使用时，除了只露出眼睛和脸表面部分外，其它部分均需包覆，在头部部分连接上衣处也必须全盖住，不能留有空隙，头发亦不能露出来。无尘室 用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件，容易洗涤，底则采用塑料底，布质部分则采用与洁净服相同材质即可，鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套 材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂（Viny1），在使用过程中若有不舒适感或妨碍手指触感者则停止使用，手套表面有粉质时须去除或停 用，原则上不使用有粉之Viny1手套为佳。

洁净衣鞋帽子等须由专人管理，并定期做清洗，清洗须在无尘室内进行。并以纯水配合清洁溶剂，并经约0.2μm之过滤器为之。一般洗涤周期视洁净 度等级而定，在高洁净区（CLASS1）为2~3天，其它区域则为五天至一星期，洗涤完毕干燥后应立即密封。洁净衣之置放场所亦须为无尘室，备用品或新品 存放柜内，正使用者则吊挂衣架上，以方便取用。

桌椅一般以不锈钢材质，并需表面加工处理为之，若不得不使用镀锌品或木制品，其表面须施环氧树脂（Epxoy）加工以防表面发尘。工作桌最好有 打洞，边缘有倒角。以利气流之运动。椅子尽量采用没有背及脚踏板者，椅脚高度以坐下来脚可以触到地板者为原则。但若一定须使用高脚椅时，则要准备脚踏环。 桌及椅子之脚最好安装上塑料小轮子或套上橡胶套。

芯片盒为放置芯片之用，材质以选取择不易摩损、不发尘易清洁之材质如铁弗（Teflon）等，至于搬运车则以构造简单为原则，并忌使用折迭式， 材质仍采用不锈钢为宜，车轮为耐磨性高之橡胶轮胎，车轮轴承采用双密封式滚珠轴承。推送搬运车时不得急速运推而以缓行为适。笔记本之纸质应采用无尘纸制成 者，且不得使用影印数据，若非万不得已须使用，则须将文件放在透明之塑料套内或加覆背，同时不可于室内撕破或将纸揉成一团，避免造成环境之污染。如表5所 示为不同纸张材质发尘量之比较。普通黑板及粉笔当然不能在高无尘室内使用，必要时可在更衣室等无尘室较低等级的区域使用白板。无尘室内不得放置清洁用具， 垃圾桶宜使用塑料制品或不锈钢，且置于维修区中的固定位置，桶须覆以盖子，以利管制，并定期清理。

表5 不同纸张发尘量比较（略）（实验方法：将两者纸张相迭，而相互磨擦时所产生之纸尘量小于0.5μM以上）

真空吸尘器，其功能是在吸取无尘室内地板上、下及设备上附着之尘粒或液体以防止这些尘粒之再飞扬，以达到清洁的目的，由于真空吸尘器在作业时会 有排气产生，若未经处理，将严重影响无尘室之洁净度和气流，因而真空吸尘器在排气口均装有HEPA过滤器，以除去尘埃。唯现今之高级无尘室均设有中央式吸 尘系统，并于现场预留吸尘口，故一般之清洁过程均利用此中央系统，以减少使用真空吸尘器时的气流干扰,在使用中央式系统时，须注意排气旦之控制避免使无尘 室内之压力降低至规定范围以下。至于真空吸尘器因属无尘室内专用，故不可移至室外使用，若不用时应置于较低等级的无尘室中，旦每次使用后应清扫吸管、收尘 箱等吸气系统。

三、无尘室各系统维护保养管理

无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说明。

无尘室内之生产制造设备注意之重点有三

1.生产设备之选择、布置与保养

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。

l.规划空间时若能临近无尘室设立一间维修和设备保养手册置放室，将是一理想之规划。

2.生产设备之防尘措施

a.磨损、切削均为发生微尘之原因，故需将发尘部分掩盖之。

b.易产生尘埃之设备，若能的话应布置于风尾地点。

c.在操作时，尽量减少接触零件或产品。

d.不得有太大或不必要的操作动作，以免卷起附近之灰尘。

e.各项厂务设施之供应如水、气体和化学品于进入生产设备前应有过滤设备。

f.为不使气体或液体滞留，造成微污染，故管路配置应有旁路阀之设置。

3.自动化与无尘化

a.设立自动化传送系统，可减少人员方面所带来的污染，唯费用相当昂贵，须详加评估。

b.建立管制项目如进入无尘室人员的资格限定，无尘室作业人员作业规则，无尘室管理规则等，这些规则已在前面章节叙述，此处不再说明。

在无尘室之维护管理方面，可分三部分加以说明

1.建筑物之维护管理

a.建筑物内定期检查清洁。

b.地板之清扫管理及损坏更新。

c.隔间墙及天花板检查清洁和封补。

d.窗户及门之保养等。

2.环境测定与管理

无尘室内之运转环境状况如温、湿度及微尘粒子数应每日定期量测，以确实掌握质量，若有数据异常，可立即做紧急处理。

3.防尘空调设备之维护管理

a.温、湿度及尘埃浓度管理，在前面以述及，唯其量测仪器应做定期校正检验，若有设备移动或施工时须做局部测量。

b.过滤网之管理：定期检查及更换，表6为各种过滤网之检查及更换周期。

c.空气调节器管理：定期检查隔板接缝及内部污染状况，冷热盘管是否有腐蚀现象。

d.送风机之管理：定期检查送风机运转状况。如表7所示为送风机之各项检查内容及周期。

e.风管及出风口之管理：检查风管是否有腐蚀、污染、尘埃堆积或保温脱落等。

f.测试及量测仪器管理：定期校正及保养。

g.室内压力管理：连续监视室内压力记录，以维持正压为基准。

h.冷冻主机、泵浦、锅炉及冷却水塔之管理：定期检查保养及记录运转状况及水质变化分析，以调整加药量等。

i.无尘室停止运转再开机要点管理：启动后立即进行微尘粒子之测试，须无尘室恢复稳定正常时再开始作业。表8为空调设备应检查之项目。