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净化车间 超净工作台 无尘室的问题

超净工作台  净化工作台 无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

 超净工作台 净化工作台 无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,
  

无尘室

无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于 划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常 见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

如表所示, 超净工作台 净化工作台  无尘车间每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个 以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数 量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

 

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